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作者: 来源: 发布时间:2009-12-4 16:48:41
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王曦

 
材料明升体育app家。明升官网明升体育app院上海微系统与信息技术研究所研究员。1966年8月生于上海,籍贯江苏南通。1987年毕业于清华大学工程物理系,1990年、1993年先后获明升官网明升体育app院上海冶金研究所(现上海微系统与信息技术研究所)硕士、博士学位。现任该所常务副所长。
 
长期致力于载能离子束与固体相互作用物理现象研究,并将研究成果应用于电子材料SOI(Silicon-on-insulator)的开发。在对离子注入SOI合成过程中的物理和明升手机过程研究基础上,自主开发了一系列将SOI材料技术明升化的关键技术,建立了我国SOI材料研发和生产基地。在载能离子束与固体相互作用以及离子束辅助薄膜沉积技术研究方面,揭示了载能离子作用下薄膜表面微结构、相组分、电子学、光学、生物学特性,实现了载能离子束薄膜生长的可控制性。曾获国家科技进步一等奖及何梁何利基金明升体育app与技术进步奖等多项奖励。
 
 
 
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