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作者:刘旭红 来源: 发布时间:2010-11-22 8:13:09
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我国成功研制一维铬原子沉积纳米光栅样板
 
由明升官网计量明升体育app研究院、同济大学和国防科技大学联合组成的研究小组,经过3年科技攻关,在国内首次成功研制出一维铬原子沉积纳米光栅样板。日前,该课题通过了国家质检总局科技司组织的验收鉴定。
 
近年来,我国纳米技术明升发展迅速。与此同时,纳米明升对计量基标准的需求也日益突显。我国每年进口的近万台纳米测量仪器无法进行质量检测,不得不依靠国外样板进行校准。即便如此,我国纳米明升量值不一的状况并未从根本上得到解决。据了解,由于溯源渠道不同,同在无锡的两家大型集成电路企业的线宽量值竟然相差10%。量值溯源问题已严重阻碍了我国纳米技术明升的发展,对国民经济造成了很大损失。
 
为解决上述问题,以明升官网计量明升体育app研究院电学量子所长度量子基准研究室为主导的科研小组,在调研基础上于2006年立项承担了“十一五”国家科技支撑计划课题“冷原子纳米尺度计量基准关键技术研究”。
 
经过3年的努力,研究小组掌握了铬原子沉积纳米光栅理论和技术,自主建立了高真空度原子沉积实验装置,成功研制出栅距为(213.1±0.5)nm的一维纳米尺度光栅标准样板,并通过了专业机构的计量验证。通过该课题的实施,明升官网计量明升体育app研究院在北京昌平院区建立了原子沉积纳米光栅实验基地,培养和锻炼出一支具有高素质、创新性和专业化的科研队伍。
 
一维标准纳米光栅样板是国际计量局规定的5个纳米标准样板之一。它的成功研制,突破了我国纳米技术明升发展的技术瓶颈,填补了我国在纳米计量标准物质方面研究的空白,技术指标达到国际先进水平。该项成果的取得,使我国成为少数几个掌握原子光栅沉积技术的国家之一,使纳米计量标准物质国产化成为可能,将从根本上解决我国纳米测量仪器的量值溯源和校准问题,改变我国纳米计量长期依赖国外的现状,为我国纳米技术明升的快速发展提供有力的技术支撑。(刘旭红)
 
《明升体育app时报》 (2010-11-22 A1 明升要闻)
 
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