由明升官网计量明升体育app研究院、同济大学和国防科技大学联合组成的研究小组，经过3年科技攻关，在国内首次成功研制出一维铬原子沉积纳米光栅样板。日前，该课题通过了国家质检总局科技司组织的验收鉴定。
近年来，我国纳米技术明升发展迅速。与此同时，纳米明升对计量基标准的需求也日益突显。我国每年进口的近万台纳米测量仪器无法进行质量检测，不得不依靠国外样板进行校准。即便如此，我国纳米明升量值不一的状况并未从根本上得到解决。据了解，由于溯源渠道不同，同在无锡的两家大型集成电路企业的线宽量值竟然相差10%。量值溯源问题已严重阻碍了我国纳米技术明升的发展，对国民经济造成了很大损失。
为解决上述问题，以明升官网计量明升体育app研究院电学量子所长度量子基准研究室为主导的科研小组，在调研基础上于2006年立项承担了“十一五”国家科技支撑计划课题“冷原子纳米尺度计量基准关键技术研究”。
经过3年的努力，研究小组掌握了铬原子沉积纳米光栅理论和技术，自主建立了高真空度原子沉积实验装置，成功研制出栅距为（213.1±0.5）nm的一维纳米尺度光栅标准样板，并通过了专业机构的计量验证。通过该课题的实施，明升官网计量明升体育app研究院在北京昌平院区建立了原子沉积纳米光栅实验基地，培养和锻炼出一支具有高素质、创新性和专业化的科研队伍。
一维标准纳米光栅样板是国际计量局规定的5个纳米标准样板之一。它的成功研制，突破了我国纳米技术明升发展的技术瓶颈，填补了我国在纳米计量标准物质方面研究的空白，技术指标达到国际先进水平。该项成果的取得，使我国成为少数几个掌握原子光栅沉积技术的国家之一，使纳米计量标准物质国产化成为可能，将从根本上解决我国纳米测量仪器的量值溯源和校准问题，改变我国纳米计量长期依赖国外的现状，为我国纳米技术明升的快速发展提供有力的技术支撑。（刘旭红）
《明升体育app时报》 (2010-11-22 A1 明升要闻)
