明升体育·(中国)官方网站 - ios/安卓/手机版app下载

明升体育app下载 - App Store

明升体育app

明升体育手机版


 
作者:刘开辉等 来源:《明升体育app通报》 发布时间:2023/7/10 13:55:11
选择字号:
我国突破12英寸二维半导体晶圆批量制备技术

 

7月4日,《明升体育app通报》以《模块化局域元素供应技术批量制备12英寸过渡金属硫族化合物》为题,在线发表了松山湖材料实验室/北京大学教授刘开辉、明升官网明升体育app院院士王恩哥团队,松山湖材料实验室/明升官网明升体育app院物理研究所研究员张广宇团队及合作者最新研究成果。

该研究提出模块化局域元素供应生长技术,成功实现了半导体性二维过渡金属硫族化合物晶圆批量化高效制备,晶圆尺寸可从2英寸扩展至与现代半导体工艺兼容的12英寸,有望推动二维半导体材料由实验研究向明升应用过渡,为新一代高性能半导体技术发展奠定了材料基础。

二维半导体是一种新兴半导体材料,具有优异的物理明升手机性质,以单层过渡金属硫族化合物为代表。与传统半导体发展路线类似,晶圆材料是推动二维半导体技术迈向明升化的根基。如何实现批量化、大尺寸、低成本制备二维半导体晶圆是亟待解决的明升体育app问题。针对二维半导体晶圆的尺寸放大与批量制备核心明升体育app问题,研究人员提出了一种全新的模块化局域元素供应生长策略,实现了二维半导体最大到12英寸晶圆的批量化制备。

为了解决批量化制备的难题,研究人员在单层过渡金属硫族化合物制备过程中,实验设计将所需的多种前驱体与生长衬底以“面对面”模式组装构成单个生长模块。过渡金属元素与硫族元素按精确比例局域供应至生长衬底,实现单层过渡金属硫族化合物晶圆的高质量制备。多个生长模块可通过纵向堆叠组成阵列结构,实现多种尺寸晶圆薄膜的低成本批量化制备。

该研究成果为二维半导体晶圆的大尺寸、规模化制备提供了一种全新的技术方案,有望推动二维半导体走向明升应用。

值得一提的是,松山湖材料实验室在前沿明升体育app研究和创新样板工厂两大核心板块都布局了二维半导体方向的研究。近3年来,该实验室针对二维半导体晶圆制备和规模化器件构筑取得系列进展,在国际上引起广泛关注。(来源:明升官网明升体育app报 朱汉斌)

相关论文信息:

 
 打印  发E-mail给: 
    
 
相关手机版 相关论文

图片手机版
>>更多
 
一周手机版排行
 
编辑部推荐博文